Capacitieve sensors voor actieve demping voor sub-Hz trillingen

high-tech-bedrijven-3t-161112

In de chip productie industrie is nanometer nauwkeurigheid zeer belangrijk. Een klant van 3T heeft in zijn machine een tafel die in horizontale (X en Y) richting kan worden bewogen en zeer nauwkeurig gepositioneerd wordt. De positie wordt met een beeldsensor afgelezen van een plaat met een fijnmazig ruitjespatroon dat vast boven de tafel is opgehangen.

Share This Story, Choose Your Platform!

Facebook
Twitter
LinkedIn

Bedrijven

Producten & werkwijze

Membership

Jobs