Met EUV-spiegelinterferentielithografie (MIL -Mirror Interference Lithography) hebben onderzoekers van het Zwitserse Paul Scherrer Institut (PSI) met één enkele belichting een resolutie van 5 nanometer weten te bereiken. Zij denken dat dankzij hun techniek computerchips weer kleiner kunnen. Kleinere en tegelijkertijd krachtigere computerchips zijn weer van belang voor ontwikkelingen zoals autonoom rijden, kunstmatige intelligentie en de 5G-standaard voor mobiele communicatie. Lees verder [Bron: engineersonline.nl]
