Mass Flow Controllers worden in vacuüm-depositieapparatuur gebruikt voor de toevoer van gas in het proces. Ze zorgen ervoor dat dit op een gecontroleerde en nauwkeurige manier kan gebeuren. Idealiter kunnen de flow instrumenten snel reageren (snelle respons) en binnen milliseconden een setpoint bereiken. Voor dit soort processen kunnen gebruikers profiteren van de FLEXI-FLOW Compact. Lees verder
