In de nieuwe cleanliness eisen van ASML wordt van Grade 1 onderdelen een minimale oppervlakteruwheid van Ra 0,8 µm geëist. Daarmee blijf je volgens ASML onder de maximale grens van deeltjesverontreiniging op het oppervlak. Maar bestaat er wel een verband tussen oppervlakteruwheid en de particle cleanliness? Tijdens het Clean Event 2024 presenteert de projectgroep Verspanen 4.0 onderzoeksresultaten op dit vlak. Lees verder
