De vervuilde lucht in een cleanroom gaat via grovere stof- en fijnstof filters de AHU in en wordt via een absoluut filter opnieuw de cleanroom ingebracht. De opbouw is noodzakelijk om te voorkomen dat het absoluut filter snel vervangen dient te worden. Een absoluut filter wordt veelal aangeduid als HEPA of ULPA filter. Lees verder
